установка для нанесения легирующей примеси центрифугированием

centrifuginis difuzanto dengtuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. spin-on dopant coater vok. Dotanten-Schleuderbeschichtungsanlage, f rus. установка для нанесения легирующей примеси центрифугированием, f pranc. installation à gainer le dopant pour prédéposition, f